i線露光装置
| 設備ID | AT-011 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（ステッパ） |
| 装置名称 | i線露光装置 (i-Line Stepper) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | ニコン (Nikon) |
| 型番 | NSR-2205i12D |
| キーワード | 光露光（ステッパ）/ Optical exposure (stepper) i線 変形照明（四重極） 変形照明（輪帯） |
| 仕様・特徴 | ・形式:NSR-2205i12D ・試料サイズ:2インチφ～8インチφ 20 mm, 18mm, 15 mm, 10 mm□クーポン ・露光光源:i線(波長365 nm) ・解像度:350 nm以下 ・最大N.A.:0.63 ・縮小倍率:5分の1倍 ・露光範囲:22 mm□(ウェハー上) ・レチクル:6インチ石英ガラス(6025) ・総合アライメント精度:55 nm以下 |
