コンタクトマスクアライナー[MJB4]
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | AT-009 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ） |
| 設備名称 | コンタクトマスクアライナー[MJB4] (Contact Mask Aligner〔MJB4〕) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | ズース (SUSS MicroTec) |
| 型番 | MJB4 |
| キーワード | 光露光（マスクアライナ）/ Optical exposure (mask aligner) アライメント露光 プロキシミティ ソフトコンタクト ハードコンタクト ソフトバキュームコンタクト バキュームコンタクト |
| 仕様・特徴 | ・型式:MJB4 ・基板サイズ:2インチφ～4インチφ、不定形小片～100mm ・解像度:約800nm (バキュームコンタクト使用時) ・波長:g線(436nm)、h線(405nm)、i線(365nm) ・ 照度 :約25mW/cm2 ・露光モード:プロキシミティ、ソフトコンタクト、 ハードコンタクト、ソフトバキュームコンタクト、 バキュームコンタクト ・露光領域:2.5～5インチ対応マスクホルダー(最大40mm□) 4インチ, 5インチ対応マスクホルダー 最大110mmφ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-009 |
![コンタクトマスクアライナー[MJB4]](data/facility_item/AT-009.jpg)