低真空走査電子顕微鏡
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | AT-005 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 低真空走査電子顕微鏡 (Low Vacuum SEM (HITACHI)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S-3500N |
| キーワード | 走査電子顕微鏡 SEM 低真空 組成分析 EDX 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・型式:S-3500N（日立ハイテク） ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント ・加速電圧:0.3～30 kV ・分解能:高真空二次電子像:3.0 nm ・低真空反射電子像:5 nm ・低真空モードでの真空度設定:1～270 Pa ・試料ステージ:五軸モーター駆動 ・可動範囲:100 mm×50 mm ・元素分析:エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-005 |
