電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-004 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] (Field Emission SEM〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S4800 |
| キーワード | FE-SEM 電界放出型電子銃 微細構造 3次元形状 EDX 組成分析 |
| 仕様・特徴 | ・型式:S-4800 ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5～30 kV ・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X,Y:0～110 mm、Z:1.5～40 mm、R:360°、T:-5～70° ・検出器:2次電子検出器、エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-004 |
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