極低温プローブステーション
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-021 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 極低温プローブステーション (Cryogenic Probe station ) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 総合研究棟B |
| メーカー名 | ナガセテクノエンジニアリング / TNSシステムズ / 東機通商 (Nagase Techno-Engineering Co., Ltd / TNS Systems LLC / Toki Commercial Co., Ltd) |
| 型番 | CMPS-308-4K-6P-20 |
| キーワード | 極低温真空プローバー 低温電子物性評価 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・さまざまな試作デバイスを極低温（～5K）から室温に至る広い温度領域での電気特性を低ノイズ状態で測定可能. ・計測器としてB2912A (2ch SMU、10fA, 210V)を設置. また、他の計測器（持込可）も接続可能. 冷却時間：40K台まで約４時間. ４K台までさらに1時間. 温度安定性：±0.2 K 以下. 電流ノイズ：±50 fA 以下、リーク電流：±50 fA 以下. マニピュレータ：4基. 基板バイアス印加. |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-021 |
