リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
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最終更新日：2024年12月27日
| 設備ID | NM-613 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | リフトオフ装置 [KLO-150CBU] (Auto Lift-Off [KLO-150CBU]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | カナメックス (KANAMEX) |
| 型番 | KLO-150CBU |
| キーワード | リフトオフ、高圧ジェット、NMP、レジスト剥離、洗浄、ウェット処理/ Wet processing、レジスト処理装置/ Resist processing |
| 仕様・特徴 | ・用途：リフトオフ、レジスト剥離 ・レジスト膨潤：80℃ NMP溶液 ・レジスト剥離：高圧ジェットNMP溶液 ・リンス：IPA, 純水 ・乾燥：スピン乾燥、N2ブロー ・最大試料サイズ：φ6inch |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-613 |
![リフトオフ装置 [KLO-150CBU]](data/facility_item/NM-613.jpg)