半導体特性評価システム
| 設備ID | BA-013 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 半導体特性評価システム (Electrical Measurement System) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 総合研究棟B |
| メーカー名 | キーサイト (Keysight) |
| 型番 | B1500A |
| キーワード | IV測定 CV測定 高速パルスドIV測定 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。 IV測定範囲；0.1fA～1A/0.5μV～200V タイムサンプリング；100μs パルス最小測定幅；100μs(MCSMU) 容量測定 周波数範囲；1kHz～5MHｚ パルスド測定 波形生成分解能；10ns 測定分解能；5ns |
