インクジェットパターン形成装置
設備ID | BA-010 |
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分類 | その他加工装置 > その他 |
装置名称 | インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer) |
設置機関 | 筑波大学 |
設置場所 | 共同研究棟C |
メーカー名 | SIJテクノロジ (SIJTechnology) |
型番 | STO50-TBD01 |
キーワード | インクジェット堆積装置/ Inkjet deposition |
仕様・特徴 | 最小吐出量;0.1fl 最小ライン;0.6μm 分解能;0.1μm 位置精度;±0.2μm |