インクジェットパターン形成装置
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-010 |
|---|---|
| 分類 | その他加工装置 > その他 |
| 設備名称 | インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | SIJテクノロジ (SIJTechnology) |
| 型番 | STO50-TBD01 |
| キーワード | インクジェット堆積装置/ Inkjet deposition |
| 仕様・特徴 | 最小吐出量；0.1fl 最小ライン；0.6μm 分解能；0.1μm 位置精度；±0.2μm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-010 |
