電界放出型走査電子顕微鏡
| 設備ID | BA-008 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU-8020 |
| キーワード | 超高分解能SEM 二次電子 反射電子 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 二次電子分解能；1.0nm（加速電圧15kV,WD=4mm） 1.3nm（照射電圧1kV,WD=1.5mm） 照射電圧；0.1～30kV 低倍率モード；20～2,000倍（写真倍率） 高倍率モード；100～800,000倍（写真倍率） SE/BSE信号可変方式 |
