走査型プローブ顕微鏡
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-006 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | Bruker (Bruker) |
| 型番 | Dimension Icon |
| キーワード | 表面構造測定 電気特性評価 機械特性評価 走査型プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscopy |
| 仕様・特徴 | 形状測定モード: タッピングモード, コンタクトモード 物性測定モード： 電気・磁気特性（EFM/SSRM/KPFM/MFM他） 機械特性（粘弾性/水平力） 試料サイズ：直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm 最大スキャン範囲：XY 90μmx90μm, Z 10μm Z方向ノイズ：0.03nm RMS 測定環境：大気中, 液中（要相談） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-006 |
