電子線蒸着装置
設備ID | BA-004 |
---|---|
分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
装置名称 | 電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator) |
設置機関 | 筑波大学 |
設置場所 | 共同研究棟C |
メーカー名 | エイコー (eiko) |
型番 | EB-350T |
キーワード | 電子線蒸着装置 蒸着(抵抗加熱、電子線)/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
仕様・特徴 | 到達圧力:1.0×10-6 Pa以下 蒸発源:5 kW 5連EBガン ルツボ容量:5 cc 基板ホルダー:φ3インチ |