電子線蒸着装置
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | BA-004 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator) |
| 設置機関 | 筑波大学 |
| 設置場所 | 共同研究棟C |
| メーカー名 | エイコー (eiko) |
| 型番 | EB-350T |
| キーワード | 電子線蒸着装置 蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | 到達圧力：1.0×10-6 Pa以下 蒸発源：5 kW 5連EBガン ルツボ容量：5 cc 基板ホルダー：φ3インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=BA-004 |
