電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-610 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] (EB Evaporator [RDEB-1206K]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | アールデック (R-DEC) |
| 型番 | RDEB-1206K |
| キーワード | 蒸着、薄膜、金属、リフトオフ、電子銃、EB、蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | ・用途：リフトオフ向け金属薄膜形成 ・蒸着方式：電子銃型×1式 ・ターゲット：12連式（Ti, Cr, Al, Ni, Cu, Pt, Au×2, Pd, Ag, MgO, Co, Fe, AuGe, Ge, 他） ・到達真空度：1.0e-5 Pa ・TS間距離：500mm ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：水冷式試料ステージ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-610 |
![電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]](data/facility_item/NM-610.jpg)