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屈折率測定装置(プリズムカプラ)

最終更新日:2023年6月28日
設備ID CT-031
分類 膜厚・粒度測定 > その他
設備名称 屈折率測定装置(プリズムカプラ) (Refractometer (Prism Coupler))
設置機関 公立千歳科学技術大学
設置場所 D202
メーカー名 メトリコン (Metricon)
型番 Model 2010/M
キーワード 薄膜の屈折率、膜厚の測定
仕様・特徴 ・光源波長:633nm(He-Neレーザー)
・屈折率精度:±0.0005
・透明バルクおよび透明フィルムの高精度屈折率
・膜厚と屈折率の同時計測(10~15ミクロン膜厚まで)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=CT-031
    屈折率測定装置(プリズムカプラ)
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