屈折率測定装置(プリズムカプラ)
最終更新日:2023年6月28日
設備ID | CT-031 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > その他 |
設備名称 | 屈折率測定装置(プリズムカプラ) (Refractometer (Prism Coupler)) |
設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
設置場所 | D202 |
メーカー名 | メトリコン (Metricon) |
型番 | Model 2010/M |
キーワード | 薄膜の屈折率、膜厚の測定 |
仕様・特徴 | ・光源波長:633nm(He-Neレーザー) ・屈折率精度:±0.0005 ・透明バルクおよび透明フィルムの高精度屈折率 ・膜厚と屈折率の同時計測(10~15ミクロン膜厚まで) |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=CT-031 |