試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | CT-030 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど） 合成設備 > その他 |
| 設備名称 | 試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox) |
| 設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
| 設置場所 | E301 E210 D201 |
| メーカー名 | ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing) |
| 型番 | 1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式 |
| キーワード | コーター |
| 仕様・特徴 | グローブボックス ・パージ式ガス置換型 ・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=CT-030 |
