赤外線加熱単結晶製造装置(FZ炉)
設備ID | CT-029 |
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分類 |
熱処理・ドーピング > 成長炉 合成設備 > その他 |
装置名称 | 赤外線加熱単結晶製造装置(FZ炉) (Infrared image furnace for single crystal growth (Floating zone furnace)) |
設置機関 | 公立千歳科学技術大学 |
設置場所 | E104 |
メーカー名 | キヤノンマシナリー (Canon Machinery) |
型番 | SC-M50XS |
キーワード | 酸化物誘電体等の高純度単結晶生成 成長炉 |
仕様・特徴 | ・光源:キセノンランプ ・最高加熱温度:2,700 ℃ ・結晶成長速度:0.2~50 mm/h |