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リアクティブエッチング装置

設備ID	CT-019
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	リアクティブエッチング装置 (Reactive ion etching system)
設置機関	公立千歳科学技術大学
設置場所	D101
メーカー名	サムコ (Samco)
型番	RIE-10NR
キーワード	各種シリコン薄膜の高精度エッチング、プラズマエッチング
仕様・特徴	・高い選択比と高精度のエッチングが可能・全自動運転・φ8インチウェハーの加工が可能