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触針式表面形状測定器（Dektak）

設備ID	CT-017
分類	膜厚・粒度測定 > 段差計膜厚・粒度測定 > 膜厚測定
装置名称	触針式表面形状測定器（Dektak） (Stylus profilometer (Dektak))
設置機関	公立千歳科学技術大学
設置場所	E203
メーカー名	ブルカー (Bruker)
型番	Dektak XT
キーワード	膜厚段差、表面形状の測定、段差計
仕様・特徴	・200 mmφ対応・測定再現性 1σ=4 Å以下