スピンコーター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-707 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | スピンコーター (Spin coater) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部L棟 |
| メーカー名 | ミカサ (MIKASA) |
| 型番 | MS-B1000 |
| キーワード | レジスト塗布 |
| 仕様・特徴 | 試料サイズ：最大4インチ 回転数：0-4000rpm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-707 |
