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スピンコーター

設備ID	HK-707
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	スピンコーター (Spin coater)
設置機関	北海道大学
設置場所	工学部L棟
メーカー名	ミカサ (MIKASA)
型番	MS-B1000
キーワード	レジスト塗布
仕様・特徴	試料サイズ：最大4インチ回転数：0-4000rpm

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