エリプソメータ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-706 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | エリプソメータ (Ellipsometry) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部L棟 |
| メーカー名 | 日本分光 (JASCO) |
| 型番 | M-500S |
| キーワード | 分光エリプソ |
| 仕様・特徴 | Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-706 |
