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スパッタ装置

設備ID	HK-704
分類	成膜装置 > スパッタリング（スパッタ）
装置名称	スパッタ装置 (Sputtering system)
設置機関	北海道大学
設置場所	工学部C棟
メーカー名	菅製作所 (SUGA)
型番	SSP3000Plus
キーワード	金属膜、絶縁膜製膜磁性材料製膜
仕様・特徴	成膜材料：1元、Au、Cr、FeNi、SiO₂等成膜温度：～300℃ 最大試料料サイズ：φ 150mm