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真空紫外露光装置

設備ID	HK-627
分類	表面処理・洗浄 > その他
装置名称	真空紫外露光装置 (Vacuum ultraviolet light exposure system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	エヌ工房 (N ceator)
型番	PC-01-H
キーワード	表面改質
仕様・特徴	試料サイズ：最大1インチ