UVオゾンクリーナー [UV-1]
最終更新日：2023年5月10日
| 設備ID | NM-606 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 表面処理・洗浄 > その他 |
| 設備名称 | UVオゾンクリーナー [UV-1] (UV Ozone Cleaner [UV-1]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | サムコ (samco) |
| 型番 | UV-1 |
| キーワード | 紫外線、UV、オゾン、表面改質、クリーニング |
| 仕様・特徴 | ・用途：基板クリーニング，表面改質 ・光源：紫外線ランプ （184.9nmおよび253.7nm） ・オゾンジェネレータ：無声放電方式高濃度オゾナイザー ・ステージ温度：室温～300度 ・最大試料サイズ：φ8 inch |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-606 |
![UVオゾンクリーナー [UV-1]](data/facility_item/NM-606.jpg)