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シリコン深掘りエッチング装置

設備ID	HK-624
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	シリコン深掘りエッチング装置 (Si Deep RIE System)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	SPPテクノロジーズ (SPP Technologies)
型番	APX-Pegasus-Polestar
キーワード	高速深掘りランピング機能
仕様・特徴	使用ガス：SF₆、C₄F₈、Ar、O₂ 試料サイズ：最大4インチ