イオンミリング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-623 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | イオンミリング装置 (Ion milling system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | IBE-6000S |
| キーワード | 磁性材料 |
| 仕様・特徴 | 使用ガス：Ar 試料サイズ：最大3インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-623 |
