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イオンミリング装置

設備ID	HK-623
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	イオンミリング装置 (Ion milling system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	アルバック (Ulvac)
型番	IBE-6000S
キーワード	磁性材料
仕様・特徴	使用ガス：Ar 試料サイズ：最大3インチ