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プラズマ原子層堆積装置

設備ID	HK-618
分類	成膜装置 > 原子層堆積(ALD)装置
装置名称	プラズマ原子層堆積装置 (Plasma Enhanced ALD system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	サムコ (samco)
型番	AD-230LP
キーワード	Al₂O₃、SiO₂他
仕様・特徴	成膜材料：Al₂O₃他試料サイズ：最大8インチ