水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-605 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | 水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | サムコ (Samco) |
| 型番 | AQ-500 |
| キーワード | 還元、洗浄、接合、アッシング、親水化、プラズマ処理/ Plasma treatment |
| 仕様・特徴 | ・用途：洗浄・還元・灰化・接合・親水化 ・高周波出力：50-250W ・反応ガス：H2O,O2 ・最大試料サイズ：φ8 inch ・その他：自動運転プログラム |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-605 |
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