卓上走査型電子顕微鏡装置群
| 設備ID | NM-006 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 卓上走査型電子顕微鏡装置群 (Tabletop scanning electron microscope (SEM)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | Miniscope TM4000PlusII Miniscope TM3000 |
| キーワード | SEM観察 元素分析 |
| 仕様・特徴 | 【TM4000PlusII】 ・倍率：10倍~10万倍 ・加速電圧 : 5 kV、10 kV、15 kV、20 kV ・画像信号 : 反射電子, 二次電子 ・真空モード：導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減 ・EDX：あり 【TM3000】 ・倍率：15倍～3万倍 ・加速電圧 : 5 kV、15 kV ・画像信号 : 反射電子のみ ・観察モード：通常、帯電軽減 ・EDX：あり |
