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パルスレーザー堆積装置

設備ID	HK-615
分類	成膜装置 > その他
装置名称	パルスレーザー堆積装置 (Pulse Laser Deposition system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	パスカル (Pascal)
型番	PAC-LMBE
キーワード	高真空成膜 RHEED
仕様・特徴	レーザー光源：248nm 基板サイズ：成膜材料：TiO₂、STOなど