パルスレーザー堆積装置
最終更新日：2022年6月10日
| 設備ID | HK-615 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > その他 |
| 設備名称 | パルスレーザー堆積装置 (Pulse Laser Deposition system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | パスカル (Pascal) |
| 型番 | PAC-LMBE |
| キーワード | 高真空成膜 RHEED |
| 仕様・特徴 | レーザー光源：248nm 基板サイズ： 成膜材料：TiO2、STOなど |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-615 |
