イオンビームスパッタ装置
最終更新日：2022年6月10日
| 設備ID | HK-612 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | イオンビームスパッタ装置 (Ion beam sputtering system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | IBS-6000 |
| キーワード | 金属膜、カーボン |
| 仕様・特徴 | 成膜材料：4元、Ni、Cr、SiO2、W-Si他 試料サイズ：最大3インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-612 |
