コンパクトスパッタ装置
設備ID | HK-610 |
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分類 | 成膜装置 > スパッタリング(スパッタ) |
装置名称 | コンパクトスパッタ装置 (Compact Sputter) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
型番 | ACS-4000-C3-HS |
キーワード | 加熱成膜 |
仕様・特徴 | カソード4元(DC3元、RF1元) 成膜材料:SiO2、Au,Cr、Mo等 基板サイズ:10mm~4インチ(リフトオフ仕様では25mm角まで) 基板加熱機構有り(~550℃) |