ヘリコンスパッタリング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-609 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | ヘリコンスパッタリング装置 (Helicon sputtering system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | MPS-4000C1/HC1 |
| キーワード | 対向成膜 ロングスロー |
| 仕様・特徴 | カソード：3元（マグネトロン4インチ、ヘリコンDC2インチ、ヘリコンRF2インチ） 成膜材料：Au,Cr,Ti 試料サイズ：最大4インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-609 |
