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真空蒸着装置

設備ID	HK-608
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	真空蒸着装置 (Vacuume evaporation system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	サンバック (SANVAC)
型番	ED-1500R
キーワード	真空蒸着
仕様・特徴	蒸着源:抵抗加熱3元、EB3元基板加熱可水晶振動式膜厚計