真空蒸着装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-608 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 真空蒸着装置 (Vacuume evaporation system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
| メーカー名 | サンバック (SANVAC) |
| 型番 | ED-1500R |
| キーワード | 真空蒸着 |
| 仕様・特徴 | 蒸着源:抵抗加熱3元、EB3元 基板加熱可 水晶振動式膜厚計 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-608 |
