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EB蒸着装置

設備ID	HK-607
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	EB蒸着装置 (EB vacuume evaporation system)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	エイコー (Eiko)
型番	EB-580S
キーワード	高真空EB蒸着
仕様・特徴	蒸着源:Au,Ti,Al,Cu,Nb 基板加熱可(600℃程度まで) 水晶振動式膜厚計