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マスクアライナ

設備ID	HK-606
分類	リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ）
装置名称	マスクアライナ (Mask aligner)
設置機関	北海道大学
設置場所	創成科学研究棟クリーンルーム
メーカー名	ミカサ (MIKASA)
型番	MA-20
キーワード	レジスト露光
仕様・特徴	コンタクト露光試料サイズ：最大4インチマスクサイズ：最大5インチ