超高速スキャン電子線描画装置(130kV)
設備ID | HK-603 |
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分類 | リソグラフィ > 電子線描画(EB) |
装置名称 | 超高速スキャン電子線描画装置(130kV) (High-speed scanning electron-beam lithography system(130kV)) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 創成科学研究棟クリーンルーム |
メーカー名 | エリオニクス (ELIONIX) |
型番 | ELS-F130HM |
キーワード | 大電流描画 |
仕様・特徴 | 加速電圧:130kV 試料サイズ:最大8インチ |