精密イオン研磨装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-407 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | 精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 創成科学研究棟01-205 |
| メーカー名 | ガタン (Gatan) |
| 型番 | PIPSII |
| キーワード | TEM試料作製 薄片加工 |
| 仕様・特徴 | イオン加速電圧：1 ～ 6 kV イオン入射角：最大±10° 液体窒素冷却装置 TVカメラ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-407 |
