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X線光電子分光装置

設備ID HK-406
分類 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線光電子分光 (XPS(硬X線を含む))
装置名称 X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectrometer)
設置機関 北海道大学
設置場所 創成科学研究棟01-302
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JPS-9200
キーワード 表面組成
化学結合
仕様・特徴 標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:3μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
    X線光電子分光装置
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