超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
設備ID | HK-404 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope) |
設置機関 | 北海道大学 |
設置場所 | 創成科学研究棟01-305 |
メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
型番 | Regulus8230 |
キーワード | 低加速 高分解能表面観察 |
仕様・特徴 | 加速電圧:0.5~30kV 分析機能:EDS STEM機能 試料サイズ:6インチまで 遠隔画面共有 |