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超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

設備ID HK-404
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)
設置機関 北海道大学
設置場所 創成科学研究棟01-305
メーカー名 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番 Regulus8230
キーワード 低加速
高分解能表面観察
仕様・特徴 加速電圧:0.5~30kV
分析機能:EDS
STEM機能
試料サイズ:6インチまで
遠隔画面共有
    超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
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