電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-303 |
|---|---|
| 分類 |
表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA)) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学研究院 全学共同利用施設 ナノ・マイクロマテリアル分析研究室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8530F |
| キーワード | 表面分析 波長分散型X線分光(WDS) 微量定量分析 大面積マッピング分析 |
| 仕様・特徴 | 加速電圧：1～30kV 分析機能：WDS |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-303 |
