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X線光電子分光装置

最終更新日:2024年4月5日
設備ID HK-201
分類 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線光電子分光 (XPS(硬X線を含む))
表面分析(深さ方向元素分析を含む) > その他
設備名称 X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope)
設置機関 北海道大学
設置場所 工学部フロンティア応用科学研究棟1-03(02)
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JPS-9200
キーワード 光電子分光
化学状態分析
デプスプロファイル測定
大気非曝露導入
X線光電子分光(XPS(硬X線を含む))
仕様・特徴 標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-201
    X線光電子分光装置
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