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走査電子顕微鏡装置群

最終更新日:2024年4月4日
設備ID KU-511
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線蛍光分光分析
設備名称 走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system)
設置機関 九州大学
設置場所 九州大学ウエスト3号館114
メーカー名 日立ハイテクノロジーズキーエンス (Hitachi High-TechKEYENCE)
型番 SU9000、VE-8800
キーワード SEM、EDX、ナノ粒子、薄膜、フィルム、走査型電子顕微鏡、X線蛍光分光分析、走査型透過電子顕微鏡
仕様・特徴 【超高分解能走査電子顕微鏡装置:SU9000】
・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察
・30kV以下の低加速観察
・コールドFE電子銃
・EDSによる高解像度元素マッピング
・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング
【3次元SEM画像測定解析システムVE-8800 KEYENCE】
・加速電圧0.5-20kV
・さまざまな有機/無機/複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)
・非導電性試料でも非蒸着で観察可能
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KU-511
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