TEM試料作製装置群
最終更新日：2024年4月1日
| 設備ID | NM-516 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | TEM試料作製装置群 (TEM sample preparation apparatus) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟103・108号室 |
| メーカー名 | Gatan 日本電子 BEUHLER Allied 日本レーザー電子 真空デバイス (Gatan JEOL BEUHLER Allied Nippon Laser & Electronics Vacuum Device) |
| 型番 | Dimple Grinder(Model 656) PIPS II(Model 695) PIPS(Model 691) Ion Slicer(EM-09100IS) ISOMET Multiprep Carbon coater(JEC-560) Platinum coater(JFC-1600) Au coater(JFC-1500) Osmium coater(NL-OPC80A) Osmium coater(HPC-1SW) PECS(Model 682) Disc Cutter(Model 601) DII-29020HD |
| キーワード | 電子顕微鏡薄片加工 電子顕微鏡試料切断 電子顕微鏡試料機械研磨機械研磨 電子顕微鏡試料切り抜き Arイオンビーム カーボンコーター 白金コーター 金コーター オスミウムコーター 精密イオンコーター 親水化処理 |
| 仕様・特徴 | Dimple Grinder(Model 656) ・初期試料厚さ: 200 µm以下 ・自動停止機構付き PIPS II(Model 695) ・加速電圧: 0.1～6 kV ・液体窒素冷却ステージ PIPS(Model 691) ・加速電圧: 0.1～6 kV ・液体窒素冷却ステージ Ion Slicer(EM-09100IS) ・加速電圧: 1～8 kV ISOMET ・4インチダイヤモンド切断砥石 Multiprep ・試料傾斜角度: 0～10° ・精密マイクロメーター付き PECS(Model 682) ・コーディング材料：カーボン, クロム, 金パラジウム, コバルト Disc Cutter(Model 601) ・金属試料の3mmディスク切り出し TEMグリッド等の親水化処理 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-516 |
