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電子状態測定システム

最終更新日:2024年4月4日
設備ID KU-501
分類 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線光電子分光 (XPS(硬X線を含む))
設備名称 電子状態測定システム (X-ray photoelectron spectrometer)
設置機関 九州大学
設置場所 九州大学ウエスト3号館116
メーカー名 島津製作所 ( Shimazu )
型番 AXIS-ULTRA
キーワード XPS、ナノ材料、構造解析、組成分析、状態分析、X線光電子分光(XPS)
仕様・特徴 ・測定範囲10~1500 eVを25meV以下のステップ、
・分析面積15μmφ~
・Mg/AlデュアルX線源、出力~450W
・イオンポンプ、真空到達度10-10 Pa
・Arエッチング可能、
・予備室内での加熱処理対応、
・大面積試料バーで複数試料の同時マウントが可能
・元素マッピング可能
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KU-501
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