コーティング装置群
| 設備ID | KU-015 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 装置名称 | コーティング装置群 (Coating machine for nonconductive specimens) |
| 設置機関 | 九州大学 |
| 設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JEOL JFC-1600、JEOL EC-32010CC |
| キーワード | 試料調製、表面処理 |
| 仕様・特徴 | 電子顕微鏡試料の調製 |
