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Arイオン研磨装置群

最終更新日:2023年2月7日
設備ID KU-014
分類 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製)
設備名称 Arイオン研磨装置群 (Sample milling / polishing facilities)
設置機関 九州大学
設置場所 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟
メーカー名 Gatan、Fischione、日本電子 (Gatan、Fischione、JEOL)
型番 Gatan PIPSⅡ M 695、Fischione NanoMill Model1040、JEOL ION SLICER EM-09100IS
キーワード 試料調製、薄片化、表面処理
仕様・特徴 電子顕微鏡試料の調製
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KU-014
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