Arイオン研磨装置群
設備ID | KU-014 |
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分類 | 微小加工装置 > イオンミリング(TEM試料作製) |
装置名称 | Arイオン研磨装置群 (Sample milling / polishing facilities) |
設置機関 | 九州大学 |
設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
メーカー名 | Gatan、Fischione、日本電子 (Gatan、Fischione、JEOL) |
型番 | Gatan PIPSⅡ M 695、Fischione NanoMill Model1040、JEOL ION SLICER EM-09100IS |
キーワード | 試料調製、薄片化、表面処理 |
仕様・特徴 | 電子顕微鏡試料の調製 |