キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機
| 設備ID | KU-013 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM) |
| 設置機関 | 九州大学 |
| 設置場所 | 九州大学筑紫キャンパス |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | Helios 5 Hydra DualBeam |
| キーワード | 微細加工、試料調製、組織解析 |
| 仕様・特徴 | イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析 |
