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三次元走査電子顕微鏡

設備ID	KU-011
分類	微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB）走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
設置機関	九州大学
設置場所	九州大学筑紫キャンパス
メーカー名	サーモフィッシャーサイエンティフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番	Scios DualBeam
キーワード	微細加工、試料調製、組織解析
仕様・特徴	3次元組織解析