直交型FIB-SEM
| 設備ID | KU-006 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM) |
| 設置機関 | 九州大学 |
| 設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | MI4000L |
| キーワード | 微細加工、試料調製、組織解析、3次元解析 |
| 仕様・特徴 | 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析 |
