デュアルビームFIB-SEM加工装置
| 設備ID | KU-005 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM) |
| 設置機関 | 九州大学 |
| 設置場所 | 九州大学超顕微解析研究センターCE21棟 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | FEI Quanta 200 3D |
| キーワード | 微細加工、試料調製、組織解析 |
| 仕様・特徴 | 観察+FIB加工、マイクロサンプリング |
