集束イオンビーム装置
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | KT-404 |
|---|---|
| 分類 | > |
| 設備名称 | 集束イオンビーム装置 (Focused ion beam machining apparatus) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学宇治キャンパス |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JEM-9310FIB |
| キーワード | 透過電子顕微鏡用試料作製 |
| 仕様・特徴 | 集束されたガリウムイオンビームにより、セラミックスや金属など比較的硬い材料を切断し、薄膜化する装置。 ・加速電圧：5~30kV ・最大電流：10nA ・分解能：8nm |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-404 |
